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Virtual Metrology

Singe-S AI-VM

Self-Learning 기반 실시간 공정 성능 예측 서버

공정이 변화해도 Reinforcement Learning 엔진으로 정확한 예측

Virtual Metrology
Singe-S AI-VM

​주요 특징

  • 간단한 초기 셋업으로 구축 비용 절감

  • AI에 의한 공정 환경 변화 자율 감지

  • 영향 인자 실시간 자동 도출

  • Self Learning 기반 모델 자율 진화

  • AI에 의한 예측 정확도 자율 관리
    - Explainable AI

Benefit

  • 정확한 계측 결과 사전 확보로 품질사고 예방

  • 필요한 시점에만 계측 (Smart Sampling)
    생산성과 품질 동시 향상

  • 고가의 계측기 비용 절감

  • 계측 데이터 풍부
    품질분석 및 공정제어 능력 향상

핵심 기능
환경 변화에
대한​ 자율감지
모델
​자율 진화
다 변량 (Multivariate) 변화에 대한

실시간 자율 감지 후 Self Learning
예측 정확도 저하를 야기할 수 있는 공정 환경의 변화 시점과 결과에 영향을 끼친 주요 요인을 스스로 감지

인공지능이 실시간  자율

감지

다 변량 변화 감지 위한 복합 알고리즘

주요 인자 실시간 자동 추출
Variable Contribution

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실시간 예측
예측 정확도
​자율 관리
제대로 동작하고 있는 지에대한

자율 관리 "Explainable AI"
예측 정확도 저하를 야기할 수 있는 공정 환경의 변화 시점과
결과에 영향을 끼친 주요 요인을 스스로 감지

Model Simulation

Predicted SPC
Relevance Monitoring

Prediction Reliability
Monitoring & Alarm

모델 자율 진화에 대한 다양한 근거 설명

다변량 변화 분석, 변수 분석, 잔차 분석, 성능 분석 등

Prediction Performance
Monitoring

Signe-S VM은 Traditional VM에 비해 변화되는 공정 환경에서도 예측이 정확하여 자동화 연계까지 가능하게 되었습니다.

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Signe-S VM은 반도체, 배터리, 화학, 전기, 기계, 유통부터 식품 및 음료까지 ​정확한 실시간 예측은 이러한 산업 전반에 걸쳐 예측 경영을 가능하게 합니다.

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